UNE-EN 62047-14:2012 (Ratificada)
Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 14: Método de medición del límite de formación de los materiales de película metálica. (Ratificada por AENOR en junio de 2012.)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 14: Forming limit measuring method of metallic film materials (Endorsed by AENOR in June of 2012.)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 14: Méthode de mesure des limites de formage des matériaux à couche métallique (Entérinée par l’AENOR en juin 2012.)
