UNE-EN 62047-4:2010 (Ratificada)

Dispositivos semiconductores. Dispositivos micro-electromecánicos. Parte 4: Especificaciones generales para MEMS. (Ratificada por AENOR en febrero de 2011.)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices -- Part 4: Generic specification for MEMS (Endorsed by AENOR in February of 2011.)

Dispositifs à semiconducteurs -- Dispositifs microélectromécaniques - Partie 4: Spécification générique pour les MEMS (Entérinée par l’AENOR en février 2011.)