UNE-EN 62047-6:2010 (Ratificada)

Dispositivos semiconductores. Dispositivos micro-electromecánicos. Parte 4: Métodos de ensayo de la fatiga axial de los materiales de película. (Ratificada por AENOR en junio de 2010.)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices -- Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials (Endorsed by AENOR in June of 2010.)

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques -- Partie 6: Méthodes d'essais de fatigue axiale des matériaux en couche mince (Entérinée par l’AENOR en juin 2010.)